Shanghai AfaPa Vacuum Equipment Co., ltd
K、KT系列油擴散真空泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵, 是獲得高真空或超真空的主要設(shè)備。可達到高真空(可達10-2~10-5Pa),對各種氣體無選擇性,結(jié)構(gòu)簡單,沒有機械運動部件,操作方便,便于維護。
應(yīng)用領(lǐng)域APPLICATIONS
油擴散真空泵廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、真空冶煉、原子能工業(yè),高科技行業(yè),真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。
技術(shù)指標(biāo)TECHNICAL SPECIFICATIONS
原理結(jié)構(gòu)圖
1 加熱器 2 排氣口法蘭 3排氣口密封圈 4 油擋 5 泵芯
6 泵殼 7 冷卻水管 8 進氣口法蘭 9 進氣口密封圈
前級泵將擴散泵泵腔內(nèi)抽到10pa左右后,具有低飽和蒸汽壓的工作液,由加熱器加熱,產(chǎn)生的油蒸汽沿蒸汽導(dǎo)管向上運動;經(jīng)幾級噴嘴定向,高速噴出,將擴散在油蒸汽中的氣體帶到前級端,油蒸汽噴射在泵壁后,遇到冷卻后,又流回到泵底,由此循環(huán)重復(fù)工作,從而達到高真空目的
尺寸與圖片